二、应力测试方法

　　PVD真空镀膜厂应力测试方法主要包括X射线和电子衍射法、试样变形分析法和光干涉法。

　　1、X射线和电子衍射法

　　PVD真空镀膜厂当涂层处于应力状态下，其晶格会产生畸变，从而使晶格常数发生变化，所以用X射线和电子衍射方法测出晶格常数的衍射谱线宽度的变化，可以按一定公式计算出涂层的应力。

　　2.试样变形分析法

　　PVD真空镀膜厂将很薄的平直长方形玻璃片的一端固定在涂层设备的真空室内，然后在薄片的一个表面上涂层，涂层应力会使薄片的自由端产生变形，用长焦测量显微镜测出薄片自由端的位移量，再根据材料力学公式计算出涂层的应力。

　　3.光干涉法

　　利用光干涉法测量涂层应力是先在干涉仪上测量出标准平板与未涂层基片之间形成的干涉条纹，然后在基片上涂层，由于涂层应力的作用，基片表面产生变形，再在干涉仪上测量出标准平板与已涂层基片之间形成的干涉条纹，依据干涉条纹的变化量，用材料力学公式计算出涂层应力。